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製品情報
半導体関係
熱交換式チラー
ヒートエクスチェンジャー
特徴
- 冷凍機を搭載せず温調が可能。
- 水と水のシンプルな冷却装置。
- オプションで純水仕様対応可能、SEMI規格に準拠した通信仕様対応可能。
仕様内容
- 冷却能力
- 2KW〜70KW 50/60Hz
- 使用温度
- +20℃~90℃
- 温度精度
- ±1.5℃
恒温水循環装置
デュアルチラー
特徴
- 1台のチラーに数系統の冷却チャンネル搭載が可能。
- 設置場所に適した省スペース化を再現。
-
使用温度が多彩
お客様のご希望に合わせて-40℃~+80℃まで設計、製造いたします。 -
冷凍機インバータ制御採用
スクロールコンプレッサの運転周波数を変化させることで、負荷にあった最適運転となり、消費電力を抑えることが可能となります。 -
各チャンネルを独立構造として設計
小型、大型2種類のチャンネルユニットを組み合わせることで、幅広い仕様の対応が可能となります。
(冷却能力、必要チャンネル数に応じた組み合わせが可能) -
メンテナンス性を考慮した設計
機械構成部品のワンユニット化
故障が発生した際、チャンネル個々での入れ替えが可能になりました。
また故障時にチラー入れ替えなどは不用なためダウンタイムの短縮化が可能です。
仕様内容
- 冷却能力
- 2KW ~70KW 50/60Hz
- 使用温度
- –40℃~+80℃
- 温度精度
- ±0.5℃